SOGEVAC 系列是单级油封式旋片泵。泵本身带有防返油阀、气镇(可选)、排气过滤器、回油管路和油冷却回路。
泵由直联的法兰电机驱动。偏心地安装在泵体中的转子内有三片旋片,它们把泵腔分成几个腔。每个腔的容积随转子旋转周期性改变。随转子旋转,泵腔的进气部分容积扩张,将气体通过进气口吸入。气体经过挡污网和打开的防返油阀进入泵腔。当转子进一步旋转,旋片从进气口将泵腔部分分开。之后这部分泵腔体积减少,气体被压缩。气体在略高于大气压力时经过排气阀从泵腔中排出。油被注入泵腔起密封、润滑和冷却泵的作用。压缩气体夹带的油在油箱内由于折转而被初步捕集,然后在排气过滤器中被过滤。于是,排气中油含量下降至低于可见程度(捕集率大于99%)。在排气过滤器中捕集的油经过回油管路返回到进气口。为了防止大气压下的气体从积油槽进入进气口,回油管路由一个浮子阀控制。油循环是由油箱(压力高于或等于大气压)和泵的进气口(压力低于大气压)之间存在的压差来维持的。滚珠轴承由润滑脂润滑,使用寿命达30 000小时。安装在电机轴上的风扇旋转产生冷却所的空气流,泵油流经油冷却器实现冷却。打开气镇让被称作“气镇”的可控制量的空气进入泵腔。当抽空可凝性气体或蒸气时,气镇可防止可冷凝气体在泵内的冷凝(大不超过技术参数中标明的容许水蒸气压强)。
有内置防返油阀可以防止泵停止时真空腔的意外破空和返油。要想完全避免返油的发生,建议在进气口安装控制阀。