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离子束蚀刻:计算机控制系统

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-09-10 1:02:51 * 浏览: 0
为了实现一维深度加权蚀刻离子束蚀刻设备,使用计算机控制系统。根据预定的曲线分布执行深度加权的蚀刻深度。由于离子束的强度是恒定的,离子源的位置也是固定的,并且工件台相对于离子源在一个维度上平移,因此控制了工件的蚀刻。转换深度以控制工件在不同位置的蚀刻时间。计算机TRS-80首先根据给定的数据模型计算工件每个位置所需的蚀刻时间,并将其存储在存储器中,然后控制步进电机使工件台在一个维度上平移,每个运动都是确定的距离,停留一段预定时间。在蚀刻过程中,计算机控制,主要实现以下功能:1控制蚀刻时间,2控制工件表平移,3控制快门打开,关闭,4检查光束。当配电系统中的各种故障导致光束异常时,需要保持现场,计算机处于暂停状态,并在故障消除后继续蚀刻,5控制步进电机执行双向蚀刻在正向和反向都有。