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清洁超高真空抽气系统

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-11-08 0:22:06 * 浏览: 0
根据分子束外延设备的真空要求,有必要达到10-8 Pa的超高真空环境。图10-36中的设备真空系统的组成如下:预真空排气系统前真空排气系统的一部分通过两个分子筛吸附泵从整个机器中排出。废气从大气中抽到离子泵的启动位置(大约10-1Pa),高能电子衍射仪的50,000伏特电子枪用于排放前级真空排气系统。预真空排气系统由两个内部冷却的吸附泵组成,每个分子筛具有5kg的分子筛(分别为13x和5A),一个高压表,一个放气阀和三个可烘烤的金属超高真空阀(其中一个是总阀) )和真空管。分子筛对气体的吸附属于物理吸附,其过程是可逆的。温度低时,会吸入大量气体。当温度升高时,部分甚至全部被释放。此时,泵内的压力再次上升,甚至压力很大。为了安全起见,在泵的吸入口上安装了一个安全阀,当泵内压力大于大气压时,放气自动打开。当然也可以制造一个简单的锥形橡胶塞代替安全阀。但是,应特别注意塞子的位置,以免液氮冻结并使橡胶塞变硬,从而导致漏气的问题。排气方法采用两级泵送,即,第一排气通过分子筛泵从大气中排出约3分钟,然后在5分钟后,使用另一分子筛泵继续排气。 2.清洁超高真空主排气系统超高真空排气系统使用三极溅射离子泵作为辅助泵,钛热升华泵作为主泵获得10-8Pa的超高真空。